電気電子コース

EUV顕微鏡の学術論文が公開されました

電気電子コースの豊田です。8月4日に、応用物理学会英文誌「Applied Physics Express」に、光学設計研究室で開発中の「極紫外(EUV)顕微鏡」に関する研究論文が公開されました(上の写真は開発中の顕微鏡です)。詳しくは、以下のリンクをご覧ください。

https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1882-0786/aba882

この論文では、スマートフォンや自動車用の構造材料などに応用が広がる、ポリマーブレンドの微細構造をEUV顕微鏡により無染色で可視化できることを、世界に先駆けて実証・提案しました。研究の推進には、昨年度まで大学院研究生として光学設計研究室に所属した相澤さんの活躍があります。この記事を書いている、8月10日までの6日間で論文は250回以上ダウンロードされていて、関心の高さに少々、驚いています。

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